公开/公告号CN204585586U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 国电兆晶光电科技江苏有限公司;
申请/专利号CN201520120833.1
申请日2015-02-28
分类号
代理机构常州市维益专利事务所;
代理人周祥生
地址 213200 江苏省常州市金坛市南环二路888号
入库时间 2022-08-22 00:45:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B28D5/04 授权公告日:20150826 终止日期:20180228 申请日:20150228
专利权的终止
2015-08-26
授权
授权
机译: 中空棱晶硅锭生产用锅,中空棱晶硅锭的生产方式和等离子蚀刻装置用部件的生产方式,是用于中空棱晶硅锭的生产设备和
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