硅锭粘接晶托的装拆移运防碰撞装置及其装拆移运方法

摘要

一种硅锭粘接晶托的装拆移运防碰撞装置，包括悬臂固定板和斜面悬臂梁，斜面悬臂梁固定安装在悬臂固定板上，两个斜面悬臂梁与V形对接轨道接触面为支承面，两个支承面底端之间的距离介于晶托连接颈宽度与V形对接轨道顶端宽度之间，两个支承面顶端之间的距离小于V形对接轨道顶端宽度，两个斜面悬臂梁的支承面的形状与V形对接轨道相配合。由于本防碰撞装置的斜面悬臂梁与V形对接轨道相配合，将晶托接触面从晶托矩形粘接面改为V形对接轨道，斜面悬臂梁无论怎样都不会与晶体硅棒或者成品硅片相碰撞，杜绝了上下棒的操作过程中，晶体硅棒或者成品硅片因滑动与铲运装置碰撞造成的损坏，无废片，生产效率高，减少生产成本。