公开/公告号CN204389406U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州兰叶光电科技有限公司;
申请/专利号CN201520088046.3
申请日2015-02-09
分类号G01N21/88(20060101);
代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;
代理人范晴
地址 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区NW-02栋606室
入库时间 2022-08-22 00:38:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/88 授权公告日:20150610 终止日期:20170209 申请日:20150209
专利权的终止
2015-06-10
授权
授权
机译: 表面缺陷检测装置,表面缺陷检测方法和程序,以及表面缺陷检测系统
机译: 周向表面缺陷检测方法周向表面缺陷检测光学系统和半透明盘的周向表面缺陷检测设备
机译: 晶圆缺陷测量涉及在两个或多个晶圆温度下,根据测量的散射激光辐射强度测量晶圆表面缺陷的深度