一种可实现大调节比的气体质量流量控制器

摘要

本实用新型公开了一种实现大调节比的气体质量流量控制器，所述气体质量流量控制器包括第一过滤器、分流器、流量传感器、曲线线性化模块、控制器、两条控制支路和第二过滤器；所述两条控制支路为第一控制支路和第二控制支路；所述第一控制支路上设置第一信号放大器和第一比例电磁阀；所述第二控制支路上设置第二信号放大器和第二比例电磁阀；所述第二分流通道的气体经过所述第一比例电磁阀和第二比例电磁阀与所述第二过滤器连接；随后从气体输出口输出；所述第一比例电磁阀和第二比例电磁阀并联连接；所述第一比例电磁阀和第二比例电磁阀的量程为3-1650NL/min。本实用新型提出了一种可实现调节比为1∶500的气体质量流量控制器。