一种深空粒子激发X射线谱仪的真空定标设备

摘要

本实用新型公开了一种深空粒子激发X射线谱仪的真空定标设备，其特征在于，包括一真空装置，以及位于所述真空装置的真空罐内的第二三轴转台和用于固定测试样品的第一三轴电转台、一个X射线光源、一深空粒子激发X射线谱仪和一个基准平台；其中，所述第一三轴转台与所述第二三轴转台分别固定在所述基准平台上，所述深空粒子激发X射线谱仪固定在所述第二三轴转台上。本实用新型能够对测试样品和深空粒子激发X射线谱仪进行精确控制，完成对探测器完备而精确的能量线性、分辨率和角度响应的标定工作。同时，通过改变三轴转台相对同一探测器的角度，可以实现对探测器对X光源的不同的角度响应。