公开/公告号CN204214788U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 香港商微觉视检测技术股份有限公司;
申请/专利号CN201420653472.2
发明设计人 许轩兢;
申请日2014-11-04
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚
地址 中国台湾
入库时间 2022-08-22 00:31:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-18
授权
授权
机译: 使用激光传感器单元检测基材缺陷的系统和使用相同传感器检测基材缺陷的方法
机译: 图案缺陷检查方法,用于检查图案缺陷的测试图案基材,图案缺陷检查装置,制造光掩模的方法以及用于显示装置的基材的制造方法
机译: 图案缺陷检查方法,用于检查图案缺陷的测试图案基材,图案缺陷检查装置,制造光掩模的方法以及用于显示装置的基材的制造方法