镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法

摘要

一种镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法，它包含抛光台枢接于基座之上，以承载镜面板，并将镜面板抛光；整平器是设置于抛光台的上方，通过接触研磨方式整平抛光台；雷射干涉侦测器是设置于抛光台的一侧，其是产生照射镜面板的雷射光，并利用其反射光来侦测镜面板的平坦度；限制工件是设置于抛光台之上，以限定镜面板的抛光位置。镜面板抛光装置的整平方法包含：抛光步骤：是将镜面板置于抛光台上进行抛光；侦测步骤：是以雷射干涉侦测器侦测镜面板的平坦度；整平步骤：是根据镜面板的平坦度进行抛光台的整平。具有高精准度、延长使用寿命及降低制造成本的功效。