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一种应用于气相/气固相反应的等离子体反应器

摘要

本实用新型公开了一种应用于气相/气固相反应的等离子体反应器,包括高压电极组件和整体呈管状的低压电极,所述高压电极组件设置在低压电极内部,所述高压电极组件包括外壁光滑的第一介质管和充装在所述第一介质管内的导电体,所述第一介质管内且位于所述导电体的端部设置有绝缘封头,所述导电体内设置有沿第一介质管长度方向延伸的金属丝或金属棒,所述金属丝或金属棒通过第一导线与电源相接,所述低压电极通过第二导线与电源相接,所述高压电极组件和低压电极之间构成放电腔室,所述低压电极上设置有与所述放电腔室相连通的进气口和出气口。该等离子体反应器能够形成均匀的电场,放电均匀,组装简单方便,便于推广应用。

著录项

  • 公开/公告号CN204167256U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2015-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安科技大学;

    申请/专利号CN201420588407.6

  • 发明设计人 贺新福;吴红菊;柳娜;

    申请日2014-10-12

  • 分类号H01J37/32(20060101);

  • 代理机构61213 西安创知专利事务所;

  • 代理人谭文琰

  • 地址 710054 陕西省西安市雁塔中路58号

  • 入库时间 2022-08-22 00:29:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-30

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J37/32 授权公告日:20150218 终止日期:20151012 申请日:20141012

    专利权的终止

  • 2015-02-18

    授权

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