法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B27/09 授权公告日:20141112 终止日期:20170106 申请日:20140106
专利权的终止
2014-11-12
授权
授权
机译: 记录/再现光学头根据零阶衍射光产生聚焦误差信号,并根据第一阶衍射光产生跟踪误差信号
机译: 位移测量传感器头和系统,其测量子光束包括零阶和一阶衍射分量
机译: 位移测量传感器头和系统具有包含零阶和一阶衍射分量的测量子光束