公开/公告号CN203934627U
专利类型实用新型
公开/公告日2014-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉兴乾昆工业设计有限公司;
申请/专利号CN201420223495.X
申请日2014-04-30
分类号
代理机构
代理人
地址 314000 浙江省嘉兴市东环商厦1幢1010室
入库时间 2022-08-22 00:20:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A23N7/02 授权公告日:20141112 终止日期:20150430 申请日:20140430
专利权的终止
2014-11-12
授权
授权
机译: 用于沿X方向和Z方向将可变的和独立的运动加工到用于制造微结构的工件中以及沿工件横向加工的装置和一种用于加工具有相同结构的工件的方法
机译: 用于加工带有一种或多种处理液的微电子工件的工具中的壁垒结构和喷嘴装置
机译: 用于加工带有一种或多种处理液的微电子工件的工具中的壁垒结构和喷嘴装置