一种采用预氧结合低温-高温-低温的变温扩散方式对磷掺杂浓度进行控制的方法

摘要

本发明公开了一种采用预氧结合低温-高温-低温的变温扩散方式对磷掺杂浓度进行控制的方法，该方法包含预氧化与低温-高温-低温三步变温扩散过程，该工艺通过对温度梯度进行优化，能精确控制磷掺杂浓度梯度，获得良好的PN结以及方阻均匀性，提高太阳能电池的转换效率。