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长晶方法与应用此长晶方法的长晶炉

摘要

本发明提供一种长晶方法与应用此长晶方法的长晶炉。此长晶炉包含坩埚、支撑物、加热器、冷却器以及至少一个隔板。在此长晶方法中,首先将隔板设置于坩埚和支撑物间,以于坩埚上形成(或定义)至少一个低热传导区域和至少一个高热传导区域。然后,利用加热器来提供热能,以熔融坩埚中的晶体原料。接着,利用冷却器来冷却被熔融的晶体原料,以使晶体原料形成晶粒。当晶体原料形成晶粒时,晶体原料的热能是透过支撑物和隔板来传导至冷却器,以使低热传导区域与高热传导区域的邻接处所形成的晶粒的尺寸大于坩埚其它区域所形成的晶粒的尺寸。

著录项

  • 公开/公告号CN103114324B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 茂迪股份有限公司;

    申请/专利号CN201110375157.9

  • 发明设计人 杨镇豪;翁林梁;周建纲;陈俞仲;

    申请日2011-11-16

  • 分类号C30B11/00(20060101);C30B28/06(20060101);

  • 代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国

  • 地址 中国台湾新北市深坑区北深路三段248号6楼

  • 入库时间 2022-08-23 09:39:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-04

    授权

    授权

  • 2013-06-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 11/00 申请日:20111116

    实质审查的生效

  • 2013-05-22

    公开

    公开

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