用于真空交换仓的减压防尘装置及真空交换仓

摘要

本实用新型涉及一种用于真空交换仓的减压防尘装置以及真空交换仓，所述减压防尘装置包括进气单元、托盘以及挡板；所述进气单元的一端与真空交换仓的进气管道连接，另一端伸入到所述托盘中；所述挡板设置在托盘开口端上，所述挡板上设置有挡板过滤单元。气体经进气单元流入托盘，并向上经挡板上的挡板过滤单元后流出，气体在减压防尘装置内迂回流动进入到真空交换仓，可减少气体对晶圆的冲击，并且气体中夹杂的颗粒经过沉降以及挡板过滤单元的过滤后，落到晶圆上的机会大大减低，有效防止出现异物不良缺陷。