具有模块式构件构造的表面微结构测量仪器

摘要

本实用新型涉及一种表面微结构测量仪器(10)，在该表面微结构测量仪器中所有功能重要的构件都作为可更换的模块(1、2、5、6、12)设置在一个壳体(7)之内。