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一种机械手臂抓器以及机械手臂

摘要

本实用新型提供一种机械手臂抓器及机械手臂,所述机械手臂抓器的钩子的拐角区域设置有多个突起,凭肉眼即可观测所述若干突起的磨损情况,进而判断是否需要更换机械手臂抓器的钩子,避免晶圆因为钩子损伤而受到金属污染,提高产品的良率。

著录项

  • 公开/公告号CN203721694U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2014-07-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201420019124.X

  • 发明设计人 李强;杜亮;常延武;詹扬;吴兵;

    申请日2014-01-13

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅

  • 地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号

  • 入库时间 2022-08-22 00:11:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/677 授权公告日:20140716 终止日期:20190113 申请日:20140113

    专利权的终止

  • 2014-07-16

    授权

    授权

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