一种用于高温炉内单晶硅棒进行尺寸测量的装置

摘要

本实用新型提供了一种用于高温炉内单晶硅棒进行尺寸测量的装置，包括底板和控制柜；所述底板上固定连接有液压伸缩杆；所述液压伸缩杆上端固定连接有相机；所述相机前端设置有镜头；所述镜头前端设置有滤光片；所述液压伸缩杆一侧固定连接有主支撑杆；所述主支撑杆上铰接有副支撑杆；所述主支撑杆和副支撑杆通过铆钉铰接；所述副支撑杆前端固定连接有激光器组；所述控制柜内部设置有液压泵；所述液压伸缩杆通过导管与液压泵相连；所述控制柜上还设置有控制按钮组；本实用新型很大程度上提高了产品边缘取像的清晰度和测量精度，同时降低了工作人员的工作强度，提高了自动化程度，给企业带来了良好的效益。