一种用于固定区熔多晶硅棒卡盘的软连接螺钉

摘要

本实用新型提供一种用于固定区熔多晶硅棒卡盘的软连接螺钉，该螺钉包括螺钉杆、螺母、弹簧和螺钉底座，其中，螺母设在螺钉杆的顶端，该螺钉杆的底端连接弹簧，该弹簧的下端连接螺钉底座。所述螺钉杆的底端与弹簧之间设有一螺钉块，该螺钉块上设有供螺钉杆的底端卡入的卡槽。采用本实用新型，在提升多晶硅棒晃动时可以给予卡盘小范围的活动量，防止了多晶硅棒晃动严重时出现卡槽断裂的现象，不仅提高了多晶硅棒的利用率，同时减少了对设备部件的毁坏。