一种改良西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置

摘要

一种西门子法生产多晶硅的精馏纯化装置，所述的精馏纯化装置由过滤器、树脂柱、保安过滤器和成品储罐构成，过滤器通过管道与树脂柱的底部连接，树脂柱的顶部通过管道与保安过滤器连接，保安过滤器通过管道与成品储罐连接；本实用新型采用树脂吸附磷硼杂质，解决除去影响多晶硅质量的磷、硼杂质，从而达到纯化氯硅烷物料的目的，提高了精制三氯氢硅的纯度。