面向自由面的超精密纳米压痕划痕加工系统

摘要

本实用新型涉及一种面向自由面的超精密纳米压痕划痕加工系统，属于光机电一体化的精密科学仪器领域。六自由度自适应式方位调节精密定位的载物台通过底架固定在环境仓上，Z轴方向的压电陶瓷精密进给单元和Z轴方向的滚珠丝杠粗进给传动机构均与螺母座相连，载荷信号检测单元固定在柔性铰链与金刚石压头夹持单元之间；位移信号检测单元均布于柔性铰链上，压头夹持单元固定在柔性铰链上，Z轴方向进给机构固定于环境仓上。优点在于：保证了材料加工的稳定性与精确性，对材料科学、微电子技术、生物医学和国防军工等领域将起到推动促进作用。