一种批量化类金刚石涂层镀膜设备

摘要

本实用新型属于真空镀膜领域，具体地说是一种对各种导电材质和绝缘材质的工件内外表面同时进行镀膜的连续性等离子镀膜设备。一种批量化类金刚石涂层镀膜设备，包括DLC镀膜室，DLC镀膜室入口连接有进料室系统，DLC镀膜室出口连接有出料室系统。本实用新型将类金刚石涂层镀膜技术以单个腔体推广至多个腔体，在操作流程上注重镀膜前期缓冲和镀膜后期冷却缓冲，解决了镀膜前期工件组装、烘烤、表面清洗和后期工件的冷却等问题，大量节约镀膜时间，另外，镀膜真空要求上实现了切换自如、抽速稳定，该方案为成功将类金刚石涂层镀膜技术实现批量化自动生产提供保障。