应用于多晶硅电子束熔炼的水冷铜坩埚

摘要

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于多晶硅电子束熔炼的水冷铜坩埚，包括埚体和底座，埚体底部通过连接件与底座固定连接，埚体与底座之间沿埚体外壁形成空腔，该空腔下端两侧设置有进水口，上端两侧设置有出水口，其特征在于位于空腔内的进水口处均设置有挡板，挡板与进水口成30～60度角，且两挡板互相平行。本实用新型所具有的有益效果是：通过简单的结构改造，只需要在水冷铜坩埚的空腔内设置挡板，即可实现冷却水在空腔内形成涡流流动，大大提高散热效果，保证了对水冷铜坩埚的降温保护。