一种太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔，包括多级燃烧筒、废气吸收塔和排风机，所述多级燃烧筒、废气吸收塔和排风机依次连接，各级燃烧筒之间相互串联且连接有互通管道，各级燃烧筒内通入压缩空气与氮气混合气体且燃烧筒内保持负压环境。本实用新型的多级燃烧筒可进行分级切离系统，便于清理粉末与不停产维护，且安全操作性高。