公开/公告号CN203310825U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 河南省日立信股份有限公司;
申请/专利号CN201320328195.3
申请日2013-06-07
分类号G01N33/00(20060101);
代理机构郑州联科专利事务所(普通合伙);
代理人刘建芳
地址 450001 河南省郑州市高新区玉兰街101号玉兰街与腊梅路交叉口日立信智能仪器仪表工业园
入库时间 2022-08-21 23:57:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N33/00 授权公告日:20131127 终止日期:20190607 申请日:20130607
专利权的终止
2013-11-27
授权
授权
机译: 半导体元件的接触销的制造包括在多晶硅层的背蚀刻中使用包含六氟化硫,三氟甲烷和四氟化碳的气体混合物。
机译: 六氟化硫气体还原型环保型245 kV电压绝缘变压器,用于气体绝缘开关设备,可将六氟化硫气体的使用量减少50%以上
机译: 气体传感器-用于六氟转化硫分解气体检测