公开/公告号CN203218248U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 三河市同飞制冷设备有限公司;
申请/专利号CN201320150918.5
申请日2013-03-29
分类号H01L23/473(20060101);
代理机构
代理人
地址 065200 河北省三河市火车站进站路3号
入库时间 2022-08-21 23:55:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-23
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L23/473 变更前: 变更后: 申请日:20130329
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-09-25
授权
授权
机译: 用于半导体器件制造工艺的超纯水生产的消毒组合物,使用该组合物的超纯水生产装置的消毒方法以及用于半导体器件制造工艺的超纯水生产设备
机译: 用于半导体装置制造过程的超纯水制备的灭菌组合物,用于该组合物的超纯水制备设备的灭菌方法,以及用于半导体装置制造的超纯水制备设备
机译: 在制造半导体器件的方法,用于对超纯水进行灭菌的方法以及用于生成超纯水的系统的情况下,用于生产超纯水的灭菌连接