软X射线管以及具有该软X射线管的光离子静电消除器

摘要

本实用新型涉及一种软X射线管及具有该软X射线管的光离子静电消除器，所述软X射线管由端窗输出式阳极组件、真空密封组件、阴极组件组成；所述阴极组件包括阴极托、平板芯柱、分别固定在平板芯柱上的灯丝和阴极托以及与阴极托焊接连接的阴极罩；所述阳极组件包括一面具有纳米级金属薄膜靶层的铍片和阳极焊接件，所述铍片焊接在阳极焊接件上；所述真空密封组件为所述封接在一起的玻璃壳和可伐构件；所述阳极焊接件与所述可伐构件焊接在一起，所述阴极组件位于真空密封组件内部。所述软X射线管结构简单，使用寿命长，产生软X射线的效率高，具有大的射线辐射角度及好的空间各向的对称性，用于各种行业的静电消除。