法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/89 授权公告日:20130724 终止日期:20140808 申请日:20110808
专利权的终止
2013-07-24
授权
授权
机译: 晶圆表面检查装置,晶圆表面检查方法,判断缺陷晶圆的装置,判断缺陷晶圆的方法,以及晶圆表面信息处理装置
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