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公开/公告号CN203024766U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-06-26
原文格式PDF
申请/专利权人 同济大学;
申请/专利号CN201220660382.7
发明设计人 何斌;纪云;黄宏伟;沈润杰;蔡蜜;李刚;魏倩;
申请日2012-12-05
分类号
代理机构上海正旦专利代理有限公司;
代理人张磊
地址 200092 上海市杨浦区四平路1239号
入库时间 2022-08-21 23:49:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C9/00 授权公告日:20130626 终止日期:20151205 申请日:20121205
专利权的终止
2013-06-26
授权
机译: MEMS技术中的加速度传感器,具有高精度和对温度和老化的低敏感性
机译: 具有高精度和低温度和老化敏感性的MEMS电容式传感器
机译: 高精度的MEMS加速度计,在温度和感染方面具有很高的灵敏度
机译:机器人辅助手术导航系统用高精度MEMS倾角传感器的设计,制造和测试
机译:基于无线MEMS的倾角传感器节点,用于结构健康监测
机译:具有低噪声集成读出和控制电子器件的高精度振动MEMS陀螺仪系统的开发和特性
机译:具有电容式传感器的MEMS器件的高精度运动估计
机译:基于无线MEMS的倾角传感器节点用于结构健康监测
机译:具有温度自补偿的快速响应光纤风速计。