一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构

摘要

本实用新型公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构，包括缓冲箱与抽风管，缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，密封门上设有导流结构，缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口；该抽风管为U形管，抽风管一端设置进风口，抽风管另一端设有出风口，出风口连接抽风机；磷扩散炉的炉管通过炉管开口伸入缓冲箱，抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通，炉管口部上设有炉帽，炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体，帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴，帽体底部内壁焊接有一石英卡环。本实用新型利用自然空气和雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。