可同时进行微米粗调及纳米微调的光学位移器

摘要

一种可同时进行微米粗调及纳米微调的光学位移器，包含:一微控钮，一支撑座，一微动轴，一弱弹簧，一中空环状推动块，该微动轴与该中空环状推动块及该支撑座的内凸缘可相对滑动；一强弹簧，一粗控钮，一基座，该基座的一端抵住该粗控钮的中轴，当该粗控钮旋进或旋退时，该基座将跟着前进或后退进行微米级的微调；该基座由一个底座及一个覆盖在该底座的上机体组合而成，该上机体包含上开孔，上述的支撑座位于该上机体的上开孔中，并且该支撑座前后端与该上开孔的边缘形成韧性的结构，使得该支撑座能相对于该上机体的上表面进行微小的移动。其将纳米位移器建构在微米位移器的移动部分之中，而达到更精密的位移效果。