光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统

摘要

本发明公开了一种双腔准分子激光器整机框架系统，所述双腔准分子激光器包括有主振荡放电腔、功率放大腔以及与该两个腔体相关的光学系统，所述系统包括安装基座(1)、基础框架(2)、光学系统框架(3)和放电腔框架(4)，其中，所述安装基座(1)是该整机框架系统的基座，用于承载所有整机框架系统的部件；所述基础框架(2)直接固定安装在所述安装基座(1)上；所述光学系统框架(3)用于安装所述光学系统，并与所述放电腔框架(4)隔离；所述放电腔框架(4)安装在所述安装基座(1)上，用于承载所述主振荡放电腔和功率放大腔。本发明能够降低放电腔对光学系统的影响。