法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-20
授权
授权
2015-12-02
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01B 11/02 登记生效日:20151112 变更前: 变更后: 申请日:20130619
专利申请权、专利权的转移
2013-10-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20130619
实质审查的生效
2013-09-25
公开
公开
机译: 三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
机译: 三自由度异戊二烯光栅干涉仪位移测量系统
机译: 三自由度异戊二烯光栅干涉仪位移测量系统