一种用于化学电镀机台的化学溶剂泄漏报警系统

摘要

本实用新型提供一种用于化学电镀机台的化学溶剂泄漏报警系统，包括装设于各制程室底盘的内底面，用于在探测到微量化学溶剂泄漏时发送第一信号的多个第一探测器；装设于与各制程室底盘具有预设高度的位置，用于在探测到大量化学溶剂泄漏时发送第二信号的多个第二探测器；用于在接收到第一信号时指示出与该第一信号对应的泄漏点并进行报警的控制面板；以及用于在接收到第二信号时对所述化学电镀机台进行紧急停机操作的紧急开关装置。本实用新型在检测到微量化学泄漏时可以指示出泄露点并进行报警，检测到大量的化学泄露时进行停机操作，可以大大地降低由于不必要的停机而导致晶圆出现产品缺失以及良率下降，有利于提高生产效率并降低生产成本。