公开/公告号CN202856146U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-04-03
原文格式PDF
申请/专利号CN201220541256.X
申请日2012-10-22
分类号H01T1/22(20060101);H01T2/02(20060101);H01T19/04(20060101);
代理机构53106 昆明大百科专利事务所;
代理人何健
地址 650217 云南省昆明市经济技术开发区云大西路中段云电科技园
入库时间 2022-08-21 23:45:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-03
授权
授权
机译: 基于等离子的高功率极端紫外线气体放电源装置,具有热容器和供应管线,将工作介质从气体供应源转移到预电离单元,该管线与电极外壳之一相连
机译: 脉冲气体激光器-具有预电离火花装置,金属激光腔和气体出口
机译: 特殊准分子激光中的预电离装置,特别是用于X射线预电离的气体激光器中的预电离装置