法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-04
授权
授权
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 15/00 申请日:20140605
实质审查的生效
2014-09-10
公开
公开
机译: 如何将投射曝光设备的照明光学单元的光瞳小面镜的光瞳面分配到照明光学单元的场微镜的场面中
机译: 如何将投射曝光设备的照明光学单元的光瞳小面镜的光瞳面分配到照明光学单元的场微镜的场面中
机译: 用于投影曝光系统即EUV投影曝光系统的照明装置,具有使光透射到场镜和光瞳镜的光源,以及形成在光瞳镜的不同位置和光区域的场镜。