一种平面衍射光栅衍射波前检测系统

摘要

一种平面衍射光栅衍射波前检测系统，包括：平面衍射光栅衍射波前检测装置、平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路、平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路；平面衍射光栅衍射波前检测装置中标准平面透镜安装在ZYGO干涉仪上，ZYGO干涉仪内置激光仪，通过数据线与计算机连接，平面光栅置于旋转平台上，旋转平台上的平面光栅与平面反射镜置于光路中；平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：旋转平台上平面光栅的激光入射角等于衍射角；平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：平面反射镜与平面光栅衍射光垂直，衍射光作为测量波面经平面反射镜反射，沿原路返回ZYGO干涉仪。本实用新型设备少，检测快，结果精确。