分体式并行微通道球形气体静压节流器

摘要

本发明公开了一种分体式并行微通道球形气体静压节流器。传统的节流器难以满足系统的超稳定和高刚度的要求。本发明节流器由主体与配合塞组成，其主体成圆柱形，上表面为带有圆形中空的凹球面，与配合塞配合的侧壁均匀的开有多个微通道，微通道与出口段工作面之间成锐角连接，在节流器主体表面的微通道口设有均压槽，相邻均压槽之间用隔栅隔开；配合塞上表面为凹球面，该凹球面曲率半径与节流器主体上表面隔栅曲率半径相同，配合塞与节流器主体采用过盈配合，形成一个完整的凹球面；该凹球面曲率半径大于均压槽曲率半径，便于气体稳定流出；配合塞上表面中心位置开有节流孔。本发明所形成的静压系统气膜具有刚度高和稳定性好特点，适于超精密领域。