具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统

摘要

本实用新型公开了一种具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，包括依次连接的蚀刻生产线用水设备（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、碱性蚀刻液循环再生设备组（6）、再生子液罐组（8）、配液罐（11）、过滤器（12）、子液罐组（16），子液罐组（16）再与蚀刻生产线用水设备（1）连接形成循环，所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。本实用新型的优点在于：本实用新型设计的这种具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，效率高，成本低，提高了系统处理废液的灵活性、安全性和可靠性。