对配备有相位板的TEM中的样本进行成像

摘要

本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。