公开/公告号CN1204399C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 东京电子株式会社;
申请/专利号CN00810626.6
申请日2000-07-20
分类号G01N27/62;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人蒋世迅
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 08:57:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 27/62 授权公告日:20050601 终止日期:20140720 申请日:20000720
专利权的终止
2005-06-01
授权
授权
2002-07-31
公开
公开
2002-07-10
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 利用容纳等离子体的释放型共振器的共振频率的变化的电子密度测量和等离子体处理控制系统
机译: 电子密度测量方法及其装置,电子密度控制装置和等离子体处理装置
机译: 电子密度测量和等离子体过程控制系统,使用锁定在包含等离子体的开放式谐振器上的微波振荡器