三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置

摘要

三氯氢硅合成炉氢气压料、吹扫清理硅粉装置，本实用新型涉及一种三氯氢硅合成炉压料及硅粉收集器反吹方式的氢气压料、吹扫清理硅粉装置，应用于多晶硅制造。其特点是氢气储罐（8）经第一氢气管线（9）连接至硅粉加料器（13）的下部，硅粉加料器（13）的下端经第一压料管线（15）连接至三氯氢硅合成炉（16）的入口，三氯氢硅合成炉（16）的出口经氯硅烷管线（21）连接至旋风分离器（20）的入口，旋风分离器（20）的下端连接至硅粉收集器（19），硅粉收集器（19）的出口经第二压料管线（17）连接至三氯氢硅合成炉（16）的入口；第二氢气管线（2）经第三压料管线（22）连接至硅粉收集器（19）的入口。