法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01T1/06 授权公告日:20120711 终止日期:20171209 申请日:20111209
专利权的终止
2012-07-11
授权
授权
机译: 用于产生极端UV(EUV)辐射/软X射线辐射的设备具有电子束源,该电子束源的布置方式使电子束被激发以释放等离子体,从而产生EUV和/或X射线辐射的一部分
机译: 电子束位置变动测定方法,电子束位置变动测定装置,电子束记录装置
机译: 电子束辐射装置,具有基于电子束的偏移量来启动偏转器并使电子枪产生的电子束偏离的偏离控制,以及使电子束衍射的偏转器。