引线框架在线等离子清洗反应仓结构

摘要

本实用新型公开了一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓，所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀，反应仓内设置有电源正极引入端，所述电源正极引入端连接电源正极板，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪和气动角阀。所述电源正极板和反应仓顶面之间设置有一个绝缘板。本实用新型结构简单，效率高，解决了现有设备自动化程度低、易造成二次污染的问题。