在线式等离子清洗工艺技术研究

摘要

在线式等离子体清洗是在低压下射频产生等离子体，粒子具有活性强、温度低和自由程较长的优点，比常压等离子清洗更适合处理高精密表面处理，加以在线的全自动模式，提高了工业生产中的效率，近年来引起了很多研究人员的关注。掌握在线等离子体设备的清洗原理和设备的研制，在此基础上进行放电特性和工艺的分析，并进行相关方面的实验研究具有重要的学术价值和实际意义。
　　 本文是在阅读大量相关资料和最新成果的基础上，结合在实践中的经验，阐述了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制，提出了介质气体的选配原则，分析了检测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法。课题研制了在线式等离子清洗设备，并通过在线等离子设备进行清洗实验，用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化。就气体流量、射频功率、处理时间对清洗工艺的影响做出了分析，并与普通等离子清洗设备DQX-206清洗进行了比较。

目录

绪论

第二章 等离子产生和清洗的原理

第三章 在线式等离子清洗技术与设备介绍

第四章 在线式等离子清洗实验及结果分析

小结

参考文献

致谢

附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文

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