光刻胶涂布机承载系统及具有该系统的光刻胶涂布机

摘要

本实用新型涉及一种光刻胶涂布机，包括由顶板和底板组成的容纳空间以及设置在容纳空间内的支撑针以及承载托盘，支撑针与承载托盘连接，光刻胶涂布机还包括设置在所述容纳空间内用于自动调整承载托盘高度的调整机构；调整机构与承载托盘连接。本实用新型还涉及一种光刻胶涂布机承载系统。本实用新型的光刻胶涂布机承载系统及相应的光刻胶涂布机调整操作简单，调整精度高。