一种测量电子束束斑尺寸的测量装置

摘要

本实用新型涉及电子技术领域，具体涉及一种测量装置。一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，包括辅助偏转系统、法拉第筒、与法拉第筒连接的电流测量系统，辅助偏转系统与法拉第筒之间设有辅助法拉第筒，辅助法拉第筒的底部设有倾斜的槽口，槽口联通辅助法拉第筒的顶部。辅助法拉第筒的两端连接电流测量系统。由于采用上述技术方案，本实用新型可以有效减少刀口散射产生的测量误差，且实施简单方便。