砂浆流量控制装置及砂浆灌浆系统

摘要

本实用新型提供一种砂浆流量控制装置及砂浆灌浆系统，其中，该砂浆流量控制装置包括：砂浆流量计，用于获取输浆管中的砂浆流量；电子调节阀，与砂浆流量计连接，用于在砂浆流量计获取的砂浆流量未达到预定值时关闭阀门，阻断输浆管中砂浆流动。通过电子调节阀根据砂浆流量计获取的砂浆流量值控制阀门的开闭，阻止了报警停机的发生，克服了现有技术中的由于报警停机而导致的硅片质量不良的问题。