能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置

摘要

本实用新型涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置。该装置在内导流筒或外导流筒的下沿处设置通孔，通孔中活动安装一根石英棒，该石英棒相对于通孔的位置变化使其能具备下述两种状态：(1)石英棒的下部末端垂直向下伸出内导流筒或外导流筒的下沿以作为测量距离的标尺；或(2)石英棒的下部末端收回至内导流筒或外导流筒的最下缘之上以便于单晶炉热场装置的移动。本实用新型可以直观的测量硅熔液面与导流筒的间距，不需要操作者凭经验判断；可实时监测熔液面位置，为操作者提供控制液面位置依据；可伸缩或旋转的设计使石英棒在操作过程中不易损坏。