直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉

摘要

本实用新型涉及一种直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，包括单晶炉体，单晶炉体包括炉筒和与炉筒相配的炉盖，炉筒内具有坩埚，坩埚内放置原料，还具有投料装置，所述的投料装置包括投料桶和升降投料桶的升降装置，炉盖上部与坩埚相对应的位置开有供投料桶进出的加料口和相应的密封盖。本实用新型的直拉法单晶硅制备中具有二次投料装置的单晶炉，结构简单，易于实现，一炉中可以装更多的料，提高石英坩埚的利用率，同时节约了时间，提高了产能，节能降耗，降低成本。