陶瓷结构金属敏感膜片电容式压力传感器

摘要

陶瓷结构金属敏感膜片电容式压力传感器，包括一对陶瓷基体，所述两个陶瓷基体相对的内侧面之间界定出电容室，所述电容室内设置有中心敏感膜片，所述陶瓷基体的内侧面均设置有电容固定极板，陶瓷基体的外侧面均设置有隔离膜片，所述陶瓷基体上设置有至少一组用于连通隔离膜片和电容固定极板的导油孔；所述陶瓷基体上设置有兼充油管和引线作用的极板引线，极板引线与电容固定极板连接。本实用新型的陶瓷结构金属敏感膜片电容式压力传感器，其采用一对陶瓷件取代了一对金属杯体，组装成压力仪表后，电容的两个电容固定极板，和中心敏感膜片与仪表外壳在电路中是浮空的，用该传感器组成仪表后，仪表抗干扰能力，精度，及稳定性都将得到极大提高。