一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针

摘要

本实用新型涉及一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针，它包括绝缘陶瓷管和金属丝制探针丝，绝缘陶瓷管外侧设有屏蔽作用的不锈钢套管，不锈钢套管和陶瓷管之间设有支撑弹簧，不锈钢套管的前端密封焊合，并留有一小孔，陶瓷管内穿进探针丝，探针丝的末端与导线连接，探针丝头穿出不锈钢套管前端的小孔，探针头露在小孔外面。本实用新型采用在放电区域的陶瓷管外，套一具有弹簧支撑的不锈钢套管的结构，以防止溅射产物直接沉积在绝缘陶瓷管上，离子渗金属等离子体诊断时，在探针上加偏置电压，使探针表面的污染在真空中溅射去除。